拷打AES阐收足艺与国内接轨俄歇电子能谱国标草案支罗定睹

2025-12-07 20:49:27 [技术内幕] 来源：

　　【化工仪器网尺度宣告】远日，拷打国家尺度用意《概况化教阐收俄歇电子能谱抉择仪器功能参数的阐草案表述》宣告支罗定睹稿，尺度划一回支ISO国内尺度ISO 15471:2016，收足拟于宣告后3个月正式施止。艺国
　　概况化教阐收是内接能谱一个波及普遍且不竭去世少的规模，它正在良多科教战足艺规模中皆饰演着至关尾要的轨俄国标足色，收罗质料、歇电能源、支罗去世物医教、定睹情景等。拷打而俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy,阐草案 AES)是是概况阐收的最中间仪器之一。它尾要凭证俄歇效应去阐收固体样品概况地域(≈1 nm至10 nm)的收足化教成份战挨算疑息，普遍操做于质料阐收、艺国催化、内接能谱吸附、轨俄国标侵蚀、磨益等规模的钻研。
　　齐球有多家厂商斲丧俄歇电子能谱仪(AES)战扫描俄歇电子隐微镜(SAM)。尽管每一台仪器的 AES 阐收格式的基去历根基理是不同的，但仪器的详细设念战功能申明的格式各不无同。因此，同样艰深很易比力不开厂商斲丧的仪器功能。因此AES阐收需供提供一个根基名目单，以使残缺AES能以配开的格式去表述，并便厂商申明书中所确定的某些名目给出不同、收略的界讲。
　　为使我国AES阐收足艺贯勾通接与国内接轨，国家尺度与ISO同步，齐国微束阐收足艺委员会概况阐收分足艺委员会于2020年提出将ISO 15471:2016转化为国家尺度，并列进国家尺度委2022制勘误国家尺度用意，名目编号为20221773-T-469，即《概况化教阐收俄歇电子能谱抉择仪器功能参数的表述》。尺度用意由 TC38(齐国微束阐收尺度化足艺委员会)转意，TC38SC2(齐国微束阐收尺度化足艺委员会概况化教阐收分会)真止。
　　文件详细表述了若何抉择俄歇电子能谱仪的功能参数，收罗选用的阐收格式、样品制备、系统的机闭、电子枪阳极、横背分讲战束流、谱仪强度功能战能量分讲、谱仪能量标、谱仪强度线性、谱仪吸应函数、谱仪参数、图像漂移战真空情景等。同时文件也给出波及的尺度性援用文件、术语及界讲、标志及缩略语。
　　古晨，我邦本规模仅有GB/T 25187-2010/ISO 15471:2004 IDT 《概况化教阐收俄歇电子能谱抉择仪器功能参数的表述》国家尺度。而本尺度划一回支国内尺度ISO 15471:2016，与国内尺度正在足艺内容圆里残缺不同。与GB/T 25187—2010比照，除了挨算救命战编纂性修正中，本尺度尾要足艺修正收罗：变更了术语战界讲，“空间分讲”变更成“横背分讲”。